ALD PLD用高浓度臭氧发生器    SD H30

加拿大SD H30 臭氧发生器，适用于需要高浓度臭氧的实验室应用，ALD、PLD、MBE、CVD等；以及任何含臭氧的水处理应用，因为臭氧在高浓度下具有高溶解度。

SD H30臭氧发生器是一款专为半导体和ALD（原子层沉积）应用设计的高效臭氧发生器。其主要特点包括：

高臭氧产量：仅需4 SLPM氧气即可产生30 g/h的臭氧，适合高浓度需求。

高臭氧浓度：臭氧浓度可达22 wt%（310 mg/L），满足半导体和ALD实验的高纯度要求。

低流量氧气需求：仅需4 SLPM氧气，节省气源成本。

耐压范围广：标准耐压15-35 PSI，可选高压15-85 PSI，适应多种实验条件。

?？榛杓疲褐С痔ㄊ交蚧馨沧?，可扩展至5 kg/h以上。

紧凑尺寸：体积小巧（35.5*38*17.8 cm），适合实验室空间有限的环境。

风冷设计：无需冷却水，在高温环境（+35℃）下也能稳定运行。

远程控制：支持远程臭氧输出控制，操作便捷。

ALD PLD用高浓度臭氧发生器特点

高纯度臭氧输出：该设备通常具备高精度的臭氧浓度控制，确保臭氧纯度，适合对气体纯度要求高的实验。

稳定性和可靠性：采用先技术和高质量材料，确保长时间稳定运行，减少实验中断风险。

精确控制：具备精确的流量和浓度控制功能，满足ALD实验中对气体流量和浓度的严格要求。

低维护成本：设计上注重耐用性和易维护性，降低长期使用中的维护和更换成本。

安全性：配备多重安全?；せ疲绻乇；ぁ⑿孤┘觳獾?，确保实验安全。

紧凑设计与易安装性：小巧尺寸和?？榛杓剖屎峡占溆邢薜氖笛槭一肪场?/p>

风冷技术：无需冷却水，降低运行成本，适合长期使用。

技术支持与售后服务：北京同林提供完善的技术支持和售后服务，帮助用户解决使用中的问题。

相关型号

高浓度版 SD H30

耐高压版 SD P30